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SCG高低溫真空探針台
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| 型號︰ | SCG |
| 品牌︰ | semishare |
| 原產地︰ | 中國 |
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低溫和高溫真空探針台
SEMISHARE真空環境高低溫測試技術
以下兩個應用需要真空測試環境。
極低溫測試:
因為晶圓在低溫大氣環境測試時，空氣中的水汽會凝結在晶圓上，會導致漏電過大或者探針無法接觸電極而使測試失敗。避免這些需要把真空腔內的水汽在測試前用泵抽走，並且保持整個測試過程泵的運轉。
高溫無氧化測試：
當晶圓加熱至300℃,400℃,500℃甚至更高溫度時，氧化現象會越來越明顯，並且溫度越高氧化越嚴重。過度氧化會導致晶圓電性誤差，物理和機械形變。避免這些需要把真空腔內的氧氣在測試前用泵抽走，並且保持整個測試過程泵的運轉。
晶圓測試過程中溫度在低溫和高溫中變換，因為熱脹冷縮現象，定位好的探針與器件電極間會有相對位移，這時需要針座的重新定位，SEMISHARE針座位於腔體外部。我們也可以選擇使用操作杆控制的自動化針座來調整探針的位置。
SCG-C-4(閉循環)/SCG-O-4(開循環)特點：
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載物Chuck 溫度範圍：4.2K-480K
外置4個定位針臂
探針X-Y-Z三方向移動，行程：25mm，定位精度：10微米
可以外置6個定位針臂
載物chuck 可到2寸
雙屏蔽chuck高低溫時達到100FA 的測試精度
針臂定位精度可以升級為0.7微米
極限真空到10-10 torr
可以選擇射頻配件做 67 GHz的射頻測試
可以選擇防震桌
可以選擇超高真空腔體
客戶訂製
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溫控規格:
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控溫範圍
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4K-480K
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控溫精度
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0.1K
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溫度穩定性
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4 K + - 0.2 K
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77 K + - 0.1 K
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373 K + - 0.08 K
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473 K + - 0.1 K
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823 K + - 0.2 K(可選)
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973 K + - 1.0K(可選)
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常溫到8K冷卻時間:
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1小時40分鐘
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8K到常溫升溫時間:
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1小時30分鐘
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從常溫開始的升溫時間
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200 ℃ 550℃ 700 ℃
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(4 chuck，單位分：秒)
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1:00 1:30 2:00
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電源
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直流
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材質
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不鏽鋼
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功率(4chuck)
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850W
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機械規格
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針座行程
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X軸方向
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25.4mm(1 inch)
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可以選擇50.8mm
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Y軸方向
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25.4mm(1 inch)
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可以選擇50.8mm
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Z軸方向
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25.4mm(1 inch)
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可以選擇50.8mm
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移動精度
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X軸方向
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10 micron
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可以選擇0.35,0.7,5,10 or 20 micron
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Y軸方向
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10 micron
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可以選擇0.35,0.7,5,10 or 20 micron
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Z軸方向
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10 micron
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可以選擇0.35,0.7,5,10 or 20 micron
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探針可旋轉角度
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+-5 度
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光學部件規格
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顯微鏡X-Y軸方向行程
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2"*2"
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可以選擇4"*4"
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總共放大倍率
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240X
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可以選擇更高倍率
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真空腔觀察窗口
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2 inch
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外部石英材質99%紅外線穿過率
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內部吸收紅外線僅可見光通過
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光源
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150W可連續調節
雙光纖導引
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可選附件
防震桌
方形chuck
分子泵組
射頻部件
Chuck可外部移動裝置
客戶定製。
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產品圖片
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相關產品
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