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大功率半自動探針台
型號 SHCV-6-Auto SHCV-8-Auto SHCV-12-Auto
外形 860mm*850mm*700mm 880mm*860mm*750mm 1300mm*920mm*920mm
重量 180KG 250KG 380KG
電力需求 AC220V,50~60HZ
Chuck 尺寸 6inch 8inch 12inch
X-Y軸行程 6*6inch 8*8inch 12*12inch
X-Y軸移動解析度 0.04um/0.1um
X-Y軸重複定位精度 ±1um
移動速度 ≥ 50 mm/sec
Z軸行程 10mm
Z軸移動解析度 0.1um
Z軸重複定位精度 ±1um
Theta角度行程 ±15°
Theta角度解析度 0.0003°
光柵尺 帶光柵尺
樣品固定方式 多孔真空吸附，獨立分區控制
切換樣品功能 樣品台快速拉出
結構 同軸高壓設計，鍍金，電學獨立懸空，可作為背電極使用
針座平台 規格 O型平台， 可放置8個針座 O型平台， 可放置10個針座 O型平台， 可放置12個針座
行程&調節方式 平台可以快速昇降，行程 6mm並帶自動鎖定功能;可以上下微調，行程25mm，昇降精度1um
控制方式 手動控制盒（可選擇帶操縱杆）
軟件控制
軟件功能 wafer map的編輯
儀器的接入
數據的採集和圖像化顯示
數據的分析
差異數據的標定Ink mark
自定義Bin分
自動測試
通訊接口：RS232/EtherCAT/GPIB等
大功率規格 配置 大功率kelvin樣品台
大功率夾具線纜
mult-pin 分流探針
大功率保護模塊（針座用）
保護紅外光幕，防止人員誤進入工作區，觸發時interlock互鎖
大功率儀器連接模塊
測試電壓 10KV
測試電流 500A（脈衝）
光學特性 顯微鏡行程 2*2inch
顯微鏡行程 1um
放大倍數 20-4000X
CCD像素 50W（模擬）/200W（數字）/500W（數字）
點針規格 點針精度 10微米/2微米/0.7微米
X-Y-Z行程 12mm-12mm-12mm
漏電精度 10pA/100fA
接口形式 香蕉頭/鱷魚夾/同軸/叁軸/SMA，SHV接口
溫控特性 溫度範圍 ﹣100~200℃ ﹣80~200℃ ﹣60~200℃
溫控精度 溫度分辨率 ： 0.01°C
加熱電源 LVDC 低壓直流
控溫速率 ±0.1°C /小時
傳感器 Pt100
制冷方式 液氮制冷
減震 主動式減震系統，能夠實現50X 物鏡下畫面不抖動
可選附件 chuck快速拉出裝置
顯微鏡傾仰裝置
激光修復
探針卡夾具
光強/波長測試接口部件
加熱台
高低溫樣品台（-80~200℃）
防震桌
射頻測試
PCB板夾具
液晶熱點偵測套裝
屏蔽箱
卡盤鍍金
運用方向 晶圓測試，功率器件測試
特點：
SiC/GaN晶圓測試 超高的測試精度
大功率晶圓測試 便捷的儀器接入
（-60~200℃）高低溫Chuck 半自動測試
20~4000X光學顯微放大 可升級全自動測試
功能豐富的測試軟件 可升級射頻測試
