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SCG高低温真空探针台
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| 型号︰ | SCG |
| 品牌︰ | semishare |
| 原产地︰ | 中国 |
| 单价︰ | - |
| 最少订量︰ | - |
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低温和高温真空探针台
SEMISHARE真空环境高低温测试技术
以下两个应用需要真空测试环境。
极低温测试:
因为晶圆在低温大气环境测试时，空气中的水汽会凝结在晶圆上，会导致漏电过大或者探针无法接触电极而使测试失败。避免这些需要把真空腔内的水汽在测试前用泵抽走，并且保持整个测试过程泵的运转。
高温无氧化测试：
当晶圆加热至300℃,400℃,500℃甚至更高温度时，氧化现象会越来越明显，并且温度越高氧化越严重。过度氧化会导致晶圆电性误差，物理和机械形变。避免这些需要把真空腔内的氧气在测试前用泵抽走，并且保持整个测试过程泵的运转。
晶圆测试过程中温度在低温和高温中变换，因为热胀冷缩现象，定位好的探针与器件电极间会有相对位移，这时需要针座的重新定位，SEMISHARE针座位于腔体外部。我们也可以选择使用操作杆控制的自动化针座来调整探针的位置。
SCG-C-4(闭循环)/SCG-O-4(开循环)特点：
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载物Chuck 温度范围：4.2K-480K
外置4个定位针臂
探针X-Y-Z三方向移动，行程：25mm，定位精度：10微米
可以外置6个定位针臂
载物chuck 可到2寸
双屏蔽chuck高低温时达到100FA 的测试精度
针臂定位精度可以升级为0.7微米
极限真空到10-10 torr
可以选择射频配件做 67 GHz的射频测试
可以选择防震桌
可以选择超高真空腔体
客户订制
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温控规格:
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控温范围
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4K-480K
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控温精度
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0.1K
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温度稳定性
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4 K + - 0.2 K
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77 K + - 0.1 K
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373 K + - 0.08 K
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473 K + - 0.1 K
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823 K + - 0.2 K(可选)
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973 K + - 1.0K(可选)
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常温到8K冷却时间:
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1小时40分钟
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8K到常温升温时间:
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1小时30分钟
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从常温开始的升温时间
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200 ℃ 550℃ 700 ℃
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(4 chuck，单位分：秒)
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1:00 1:30 2:00
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电源
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直流
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材质
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不锈钢
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功率(4chuck)
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850W
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机械规格
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针座行程
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X轴方向
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25.4mm(1 inch)
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可以选择50.8mm
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Y轴方向
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25.4mm(1 inch)
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可以选择50.8mm
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Z轴方向
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25.4mm(1 inch)
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可以选择50.8mm
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移动精度
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X轴方向
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10 micron
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可以选择0.35,0.7,5,10 or 20 micron
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Y轴方向
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10 micron
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可以选择0.35,0.7,5,10 or 20 micron
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Z轴方向
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10 micron
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可以选择0.35,0.7,5,10 or 20 micron
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探针可旋转角度
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+-5 度
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光学部件规格
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显微镜X-Y轴方向行程
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2"*2"
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可以选择4"*4"
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总共放大倍率
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240X
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可以选择更高倍率
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真空腔观察窗口
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2 inch
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外部石英材质99%红外线穿过率
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内部吸收红外线仅可见光通过
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光源
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150W可连续调节
双光纤导引
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可选附件
防震桌
方形chuck
分子泵组
射频部件
Chuck可外部移动装置
客户定制。
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产品图片
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