型號 | Flex-85 | |
外形 | 3,000mm(寬) x2,500mm(長) x 2,500 mm (高 ) | |
重量 | 7500KG左右 | |
電力需求 | 380V,50Hz, 3Phase, approx. 50A Max | |
修復能力 | 可修復樣品尺寸 | 3~85寸 |
可修復範圍 | 顯示區內任何位置 | |
修復時間 | 120S左右每個像素(尺寸200um*100um的pixel) | |
適用產品類型 | Cell段產品(OLED面板,IPS,ON-CELL/IN-CELL等TFT面板),模組段產品(已貼偏光片,帶TP模組) | |
遮光性 | 修補顏色在模組背光下不可見 | |
平台功能 | Gantry結構 | 龍門式 |
X-Y-Z 行程 | 2000*1200*50mm | |
移動精度 | 0.1um | |
X-Y運動速度 | 0~200mm/s | |
Z 運動速度 | 0~2mm/s可調 | |
定位 | AOI坐標自動定位 | |
光學特性 | 光路系統倍率 | 50X~ 1000X ,5X ,10X ,20X ,50X,100X Objects |
物鏡切換速度 | 0.2~0.7s | |
聚焦 | 激光自動聚焦 | |
光學分辨率 | 0.7um | |
相機 | 200W/500W像素工業相機 | |
激光特性 | 激光系統 | 激光切割系統(5~500 nj/Pluse Maximum@250KHz,20X object,532nm) |
能量調節精度 | 0-1000 steps | |
0-100% | ||
激光波長 | 1064nm,532nm,355nm | |
脈寬 | 500fs | |
光斑尺度 | 0.8~1.5um @100X object | |
1.0~3.0um @50X object | ||
激光壽命 | >10年,維護間隔>6,000小時 | |
掃描面能量均勻性 | 優于5% IR | |
工作模式 | Scan掃描式 | |
掃描形狀 | 可任意定義形狀 | |
工藝參數 | 軟件可以添加任意組工藝參數 | |
控制 | 工作模式 | 自動修復,實現數據的自動導入和輸出,聯機通訊 |
手動或者半自動修復 | ||
上下片 | 機械手或者流水線 | |
CIM系統 | 有 | |
減震 | 主動式減震系統,能夠實現50X 物鏡下畫面不抖動 | |
工業PC | 23寸顯示器&電腦:i7 處理器,1TB硬盤2塊(其中一塊為備份硬盤),8G內存,1G獨立顯卡,DVD-ROM | |
通訊接口 | RS232/EtherCAT/GPIB等 | |
安全 | 整機帶屏蔽罩,操作人員在屏蔽罩外操作 | |
緊急開關EMO | ||
限位sensor,運動平台和激光系統限位互鎖 | ||
Interlock報警,自動關閉系統(軟件設置為可選) | ||
應用 | TFT-LCD Panel亮點的修復,OLED Panel亮點的修復 |