| 型號 |
SHCV-6-Auto |
SHCV-8-Auto |
SHCV-12-Auto |
| 外形 |
860mm*850mm*700mm |
880mm*860mm*750mm |
1300mm*920mm*920mm |
| 重量 |
180KG |
250KG |
380KG |
| 電力需求 |
AC220V,50~60HZ |
| Chuck |
尺寸 |
6inch |
8inch |
12inch |
| X-Y軸行程 |
6*6inch |
8*8inch |
12*12inch |
| X-Y軸移動解析度 |
0.04um/0.1um |
| X-Y軸重複定位精度 |
±1um |
| 移動速度 |
≥ 50 mm/sec |
| Z軸行程 |
10mm |
| Z軸移動解析度 |
0.1um |
| Z軸重複定位精度 |
±1um |
| Theta角度行程 |
±15° |
| Theta角度解析度 |
0.0003° |
| 光柵尺 |
帶光柵尺 |
| 樣品固定方式 |
多孔真空吸附，獨立分區控制 |
| 切換樣品功能 |
樣品台快速拉出 |
| 結構 |
同軸高壓設計，鍍金，電學獨立懸空，可作為背電極使用 |
| 針座平台 |
規格 |
O型平台， 可放置8個針座 |
O型平台， 可放置10個針座 |
O型平台， 可放置12個針座 |
| 行程&調節方式 |
平台可以快速昇降，行程 6mm並帶自動鎖定功能;可以上下微調，行程25mm，昇降精度1um |
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| 控制方式 |
手動控制盒（可選擇帶操縱杆） |
| 軟件控制 |
| 軟件功能 |
wafer map的編輯 |
| 儀器的接入 |
| 數據的採集和圖像化顯示 |
| 數據的分析 |
| 差異數據的標定Ink mark |
| 自定義Bin分 |
| 自動測試 |
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| 通訊接口：RS232/EtherCAT/GPIB等 |
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| 大功率規格 |
配置 |
大功率kelvin樣品台 |
| 大功率夾具線纜 |
| mult-pin 分流探針 |
| 大功率保護模塊（針座用） |
| 保護紅外光幕，防止人員誤進入工作區，觸發時interlock互鎖 |
| 大功率儀器連接模塊 |
| 測試電壓 |
10KV |
| 測試電流 |
500A（脈衝） |
| 光學特性 |
顯微鏡行程 |
2*2inch |
| 顯微鏡行程 |
1um |
| 放大倍數 |
20-4000X |
| CCD像素 |
50W（模擬）/200W（數字）/500W（數字） |
| 點針規格 |
點針精度 |
10微米/2微米/0.7微米 |
| X-Y-Z行程 |
12mm-12mm-12mm |
| 漏電精度 |
10pA/100fA |
| 接口形式 |
香蕉頭/鱷魚夾/同軸/叁軸/SMA，SHV接口 |
| 溫控特性 |
溫度範圍 |
﹣100~200℃ |
﹣80~200℃ |
﹣60~200℃ |
| 溫控精度 |
溫度分辨率 ： 0.01°C |
| 加熱電源 |
LVDC 低壓直流 |
| 控溫速率 |
±0.1°C /小時 |
| 傳感器 |
Pt100 |
| 制冷方式 |
液氮制冷 |
| 減震 |
主動式減震系統，能夠實現50X 物鏡下畫面不抖動 |
| 可選附件 |
chuck快速拉出裝置 |
| 顯微鏡傾仰裝置 |
| 激光修復 |
| 探針卡夾具 |
| 光強/波長測試接口部件 |
| 加熱台 |
| 高低溫樣品台（-80~200℃） |
| 防震桌 |
| 射頻測試 |
| PCB板夾具 |
| 液晶熱點偵測套裝 |
| 屏蔽箱 |
| 卡盤鍍金 |
| 運用方向 |
晶圓測試，功率器件測試 |
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