型號:SC-8
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高低溫分析探針台 |
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特點 |
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-80~200℃無霜精確控溫 舒適大手柄驅動CHUCK |
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可以升級做射頻測試 |
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20X~4000X 光學顯微放大 |
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無後座力移動 |
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針座平台可以快速昇降便於wafer取放 |
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規格 |
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真空吸附型Chuck |
8" 不鏽鋼 |
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Chuck X-Y軸行程 |
8" x8" |
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Chuck 旋轉角度 |
0~360 度 |
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針座平臺上下昇降行程 |
6mm 通過昇降杆調整 |
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針座平台 |
可以放置8個針座 |
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顯微鏡X-Y軸行程 |
2" x2" |
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需求 |
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電力 |
220 VAC, 60Hz |
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真空 |
-250 mmHg, 7 liter/min |
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尺寸 |
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840mm長 x 660mm寬 x 700mm高(帶顯微鏡) |
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重 160 Kg(帶顯微鏡) |
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可選附件 |
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Chuck快速拉出裝置 |
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顯微鏡傾仰裝置 |
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探針卡夾具 |
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高低溫樣品台(-80-200℃) 防震桌 |
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顯微鏡暗場 / Normarski 檢測 |
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帶真空底座的活動Chuck |
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光強/波長測試接口部件 |
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低電流/電容測試 |
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高壓測試(3KV)/大電流測試(10A) |
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CCD視頻系統 |
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封裝器件夾具 |
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PCB板夾具 |
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液晶熱點偵測套裝 |
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屏蔽箱 |
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鍍金Chuck |
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