| 型号 |
SHCV-6-Auto |
SHCV-8-Auto |
SHCV-12-Auto |
| 外形 |
860mm*850mm*700mm |
880mm*860mm*750mm |
1300mm*920mm*920mm |
| 重量 |
180KG |
250KG |
380KG |
| 电力需求 |
AC220V,50~60HZ |
| Chuck |
尺寸 |
6inch |
8inch |
12inch |
| X-Y轴行程 |
6*6inch |
8*8inch |
12*12inch |
| X-Y轴移动解析度 |
0.04um/0.1um |
| X-Y轴重复定位精度 |
±1um |
| 移动速度 |
≥ 50 mm/sec |
| Z轴行程 |
10mm |
| Z轴移动解析度 |
0.1um |
| Z轴重复定位精度 |
±1um |
| Theta角度行程 |
±15° |
| Theta角度解析度 |
0.0003° |
| 光栅尺 |
带光栅尺 |
| 样品固定方式 |
多孔真空吸附，独立分区控制 |
| 切换样品功能 |
样品台快速拉出 |
| 结构 |
同轴高压设计，镀金，电学独立悬空，可作为背电极使用 |
| 针座平台 |
规格 |
O型平台， 可放置8个针座 |
O型平台， 可放置10个针座 |
O型平台， 可放置12个针座 |
| 行程&调节方式 |
平台可以快速升降，行程 6mm并带自动锁定功能;可以上下微调，行程25mm，升降精度1um |
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| 控制方式 |
手动控制盒（可选择带操纵杆） |
| 软件控制 |
| 软件功能 |
wafer map的编辑 |
| 仪器的接入 |
| 数据的采集和图像化显示 |
| 数据的分析 |
| 差异数据的标定Ink mark |
| 自定义Bin分 |
| 自动测试 |
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| 通讯接口：RS232/EtherCAT/GPIB等 |
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| 大功率规格 |
配置 |
大功率kelvin样品台 |
| 大功率夹具线缆 |
| mult-pin 分流探针 |
| 大功率保护模块（针座用） |
| 保护红外光幕，防止人员误进入工作区，触发时interlock互锁 |
| 大功率仪器连接模块 |
| 测试电压 |
10KV |
| 测试电流 |
500A（脉冲） |
| 光学特性 |
显微镜行程 |
2*2inch |
| 显微镜行程 |
1um |
| 放大倍数 |
20-4000X |
| CCD像素 |
50W（模拟）/200W（数字）/500W（数字） |
| 点针规格 |
点针精度 |
10微米/2微米/0.7微米 |
| X-Y-Z行程 |
12mm-12mm-12mm |
| 漏电精度 |
10pA/100fA |
| 接口形式 |
香蕉头/鳄鱼夹/同轴/叁轴/SMA，SHV接口 |
| 温控特性 |
温度范围 |
﹣100~200℃ |
﹣80~200℃ |
﹣60~200℃ |
| 温控精度 |
温度分辨率 ： 0.01°C |
| 加热电源 |
LVDC 低压直流 |
| 控温速率 |
±0.1°C /小时 |
| 传感器 |
Pt100 |
| 制冷方式 |
液氮制冷 |
| 减震 |
主动式减震系统，能够实现50X 物镜下画面不抖动 |
| 可选附件 |
chuck快速拉出装置 |
| 显微镜倾仰装置 |
| 激光修复 |
| 探针卡夹具 |
| 光强/波长测试接口部件 |
| 加热台 |
| 高低温样品台（-80~200℃） |
| 防震桌 |
| 射频测试 |
| PCB板夹具 |
| 液晶热点侦测套装 |
| 屏蔽箱 |
| 卡盘镀金 |
| 运用方向 |
晶圆测试，功率器件测试 |
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